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摘要:干涉仪是一种基于干涉现象测量光学元件性能的设备。其原理是利用相干光束在干涉仪中的干涉现象来测量光学元件的表面形状、光学性能等参数。干涉仪具有多种功能,包括测量光学元件的波前质量、表面粗糙度、光学干涉膜层等。广泛...